Behandlung von Gasen aus der Halbleiterherstellung
EP1129763
Art B1
29. August 2007
Anmelder: Edwards Limited, The BOC Group plc 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1129763
- Aktenzeichen
- EP01301545
- Anmeldetag
- 21. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 29. August 2007
- Erteilung
- 29. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/68B01D53/70
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Edwards Limited
The BOC Group plc - Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
612 Patente in unserer Datenbank
🇬🇧
The BOC Group
The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.
468 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Booth, Andrew Steven
West, Großbritannien
355
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Bousfield, Roger James
NoneWindlesham