Behandlung von Gasen aus der Halbleiterherstellung
EP1129763
Art B1
29. August 2007
Anmelder: Edwards Limited, The BOC Group plc 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1129763
- Aktenzeichen
- EP01301545
- Anmeldetag
- 21. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 29. August 2007
- Erteilung
- 29. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/68B01D53/70
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Edwards Limited
The BOC Group plc - Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Booth, Andrew Steven
West, Großbritannien
355
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Bousfield, Roger James
NoneWindlesham