Turbomolekularpumpe

EP1130269 Art B1 13. September 2006

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1130269
Aktenzeichen
EP01102551
Anmeldetag
6. Februar 2001
Veröffentlichung
13. September 2006
Erteilung
13. September 2006
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/54
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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