Mikrolithographie-Projektionsbelichtung mit tangentialer Polarisation
EP1130470
Art A3
3. Dezember 2003
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1130470
- Aktenzeichen
- EP01101481
- Anmeldetag
- 24. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 3. Dezember 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B17/08G02B27/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Müller-Rissmann, Werner Albrecht
Oberkochen, Deutschland
12
Patente gesamt
2
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr
NoneOberkochen