Verfahren zur Entfernung von Ruthenium oder Rutheniumoxid

EP1130636 Art B1 7. September 2005

Anmelder: NEC Electronics Corporation, Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha, KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA, NEC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1130636
Aktenzeichen: EP01104044
Anmeldetag: 20. Februar 2001
Veröffentlichung: 7. September 2005
Erteilung: 7. September 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213C23F1/30H01L21/306C23F1/44C23F1/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NEC Electronics Corporation
Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha
KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA
NEC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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