Mikroskop, Vorzugsweise zur Inspektion bei der Halbleiterfertigung

EP1131665 Art B1 2. Juni 2004

Anmelder: CARL ZEISS JENA GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1131665
Aktenzeichen: EP00964212
Anmeldetag: 20. September 2000
Veröffentlichung: 2. Juni 2004
Erteilung: 2. Juni 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G02B21/16G02B5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS JENA GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss Jena

Carl Zeiss Jena GmbH ist eine Gesellschaft der Zeiss-Gruppe mit Sitz im thüringischen Jena, dem historischen Kernstandort des Optikkonzerns. Das Patentportfolio ist stark auf Optik und Fototechnik konzentriert, ergänzt um Mess- und Prüftechnik sowie Beleuchtungstechnik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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