Verfahren und Einrichtung zur gleichmässigen Elektrizitätsversorgung eines Werkstücks

EP1132502 Art A3 30. Juni 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1132502
Aktenzeichen
EP01104461
Anmeldetag
28. Februar 2001
Veröffentlichung
30. Juni 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C25D21/12C25D7/12H01L21/288
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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