Verfahren zur Abscheidung von dünnen Schichten unter Verwendung eines FTIR-Gasanalysators und einer Mischgasversorgungsvorrichtung

EP1132504 Art B1 13. Juni 2007

Anmelder: HORIBA, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1132504
Aktenzeichen: EP01104459
Anmeldetag: 28. Februar 2001
Veröffentlichung: 13. Juni 2007
Erteilung: 13. Juni 2007
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/16C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: HORIBA, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Horiba

Horiba ist ein japanischer Hersteller wissenschaftlicher und analytischer Messinstrumente. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Softwarethemen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

697 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von