Fluidregelvorrichtung
EP1132669
Art B1
13. Oktober 2004
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, FUJIKIN Inc., Fujikin Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1132669
- Aktenzeichen
- EP01105800
- Anmeldetag
- 8. März 2001
- Veröffentlichung
- 13. Oktober 2004
- Erteilung
- 13. Oktober 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16K27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
FUJIKIN Inc.
Fujikin Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
452 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Paul, Dieter-Alfred
Neuss, Deutschland
488
Patente gesamt
32
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte