Halbtonphasenschiebermaske, Rohling davon sowie Verfahren zur Erzeugung eines Musters

EP1132772 Art B1 17. Oktober 2007

Anmelder: DAI NIPPON PRINTING CO., LTD., Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1132772
Aktenzeichen: EP00953435
Anmeldetag: 16. August 2000
Veröffentlichung: 17. Oktober 2007
Erteilung: 17. Oktober 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/08H01L21/027G03F1/00G03F1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Dai Nippon Printing

Japanisches Unternehmen der Druckindustrie mit Sitz in Tokio, das sich über klassische Druckerzeugnisse hinaus in Elektronikmaterialien, Displaykomponenten und Verpackungslösungen diversifiziert hat.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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