Verfahren zur Herstellung und Abhebung von einer porösen Siliziumschicht
EP1132952
Art B1
23. November 2016
Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1132952
- Aktenzeichen
- EP00870040
- Anmeldetag
- 10. März 2000
- Veröffentlichung
- 23. November 2016
- Erteilung
- 23. November 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/3063H01L31/18
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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