Verfahren und Vorrichtung zum Entfernen von unerwünschten elektroplattierten Ablagerungen

EP1136592 Art A3 25. März 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1136592
Aktenzeichen
EP01302588
Anmeldetag
20. März 2001
Veröffentlichung
25. März 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23F1/08H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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