Herstellungsvorrichtung für Halbleiter mit Keramischer Fliesenauskleidung
EP1138055
Art B1
3. Dezember 2003
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1138055
- Aktenzeichen
- EP00963352
- Anmeldetag
- 11. September 2000
- Veröffentlichung
- 3. Dezember 2003
- Erteilung
- 3. Dezember 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32C23C16/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Barnard, Eric Edward
London, Großbritannien
24
Patente gesamt
11
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte