Wässrige Dispersion zum chemisch-mechanischen Polieren von Isolierfilmen

EP1138733 Art B1 23. August 2006

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1138733
Aktenzeichen
EP01107381
Anmeldetag
26. März 2001
Veröffentlichung
23. August 2006
Erteilung
23. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02C09K3/14H01L21/306H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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