Projektionsbelichtungsverfahren, Vorrichtung und Optisches Projektionssystem

EP1139138 Art A1 4. Oktober 2001

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1139138
Aktenzeichen: EP00962924
Anmeldetag: 28. September 2000
Veröffentlichung: 4. Oktober 2001
Rechtsraum: EP
IPC: G02B13/24G02B13/18G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von