Elektronenoptische Anordnung, Verfahren zur Herstellung derselben, Ladungsträgerteilchenstrahl-Belichtungsgerät und Verfahren zur Herstellung der zugehörigen Vorrichtung
EP1139384
Art B1
23. September 2009
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1139384
- Aktenzeichen
- EP01303029
- Anmeldetag
- 30. März 2001
- Veröffentlichung
- 23. September 2009
- Erteilung
- 23. September 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/12H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
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