Anordnung zur Ätzung eines Halbleitersubstrats und Verfahren zur Reinigung eines Filters in dieser Anordnung
Anmelder: Infineon Technologies AG, Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG, MOTOROLA, INC., Semiconductor 300 GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1139389
- Aktenzeichen
- EP00106632
- Anmeldetag
- 28. März 2000
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Infineon Technologies AG
Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG
MOTOROLA, INC.
Semiconductor 300 GmbH & Co. KG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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US-amerikanisches Technologieunternehmen mit historischem Sitz in Schaumburg, Illinois. Motorola war ein bedeutender Hersteller von Mobilfunkgeräten, Halbleitern und Kommunikationstechnik, bevor es in mehrere Nachfolgegesellschaften wie Motorola Solutions und Motorola Mobility aufgeteilt wurde.
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