Verfahren und Vorrichtung zum Glühen von Kupferfilmen
EP1139391
Art A1
4. Oktober 2001
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1139391
- Aktenzeichen
- EP01103525
- Anmeldetag
- 16. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00C22F1/02C22F1/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Käck, Jürgen
Landsberg am Lech, Deutschland
814
Patente gesamt
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17
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