Verfahren zur Halbleiterscheibenfertigung

EP1139397 Art A1 4. Oktober 2001

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

Grünecker, August, Dipl.-Ing München, Deutschland

229

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Fachgebiete

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Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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