Vorrichtung zur Erhitzung einer Flüssigkeit

EP1139694 Art B1 8. März 2006

Anmelder: TOSHIBA CERAMICS CO., LTD., TOKYO ELECTRON LIMITED, Toshiba Ceramics Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1139694
Aktenzeichen: EP01107475
Anmeldetag: 28. März 2001
Veröffentlichung: 8. März 2006
Erteilung: 8. März 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H05B3/44H05B3/14F24H1/10H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOSHIBA CERAMICS CO., LTD.
TOKYO ELECTRON LIMITED
Toshiba Ceramics Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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