Einrichtung und Verfahren zur Feststellung der Ende der Verwendungszeit von einem Wässrigen Bad in der Halbleiterherstellung

EP1142005 Art A1 10. Oktober 2001

Anmelder: Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1142005
Aktenzeichen
EP00964074
Anmeldetag
31. August 2000
Veröffentlichung
10. Oktober 2001
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306G05D21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Koninklijke Philips Electronics N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 Philips

Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.

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