Halbton-Phasenschiebermaske sowie deren Rohlinge und Verfahren zur Erzeugung von Strukturen unter Einsatz dieser Maske
Anmelder: Dai Nippon Printing Co., Ltd., Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc., Dainippon Printing Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1143295
- Aktenzeichen
- EP01108402
- Anmeldetag
- 3. April 2001
- Veröffentlichung
- 9. November 2005
- Erteilung
- 9. November 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Dai Nippon Printing Co., Ltd.
Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.
Dainippon Printing Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Unternehmen der Druckindustrie mit Sitz in Tokio, das sich über klassische Druckerzeugnisse hinaus in Elektronikmaterialien, Displaykomponenten und Verpackungslösungen diversifiziert hat.
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Fachgebiete
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.