Magnetische Anordnung zur Effizienten Verwendung eines Targets Beim Zerstäuben eines Kegelstumpfförmigen Targets
EP1144713
Art B1
10. September 2003
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1144713
- Aktenzeichen
- EP00977103
- Anmeldetag
- 10. November 2000
- Veröffentlichung
- 10. September 2003
- Erteilung
- 10. September 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34C23C14/35H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Reddie & Grose wurde 1907 gegründet und ist neben London und Cambridge auch in München und Den Haag vertreten. Sie gilt laut Fachpresse als besonders versiert im Umgang mit komplexen technischen Fragestellungen vor EPA und UPC.
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