Verfahren zur Bestimmung des Ausrichtfehlers zwischen einem Retikel und einem Wafer
EP1145079
Art A2
17. Oktober 2001
Anmelder: Koninklijke Philips Electronics N.V., Philips Semiconductors Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1145079
- Aktenzeichen
- EP00992221
- Anmeldetag
- 13. September 2000
- Veröffentlichung
- 17. Oktober 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Koninklijke Philips Electronics N.V.
Philips Semiconductors Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Philips
Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.
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Vertreten von
Cobben, Louis Marie Hubert
Eindhoven, Niederlande
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