Waferbearbeitungssystem
EP1145288
Art B1
28. September 2005
Anmelder: Wafermasters Incorporated, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1145288
- Aktenzeichen
- EP00982387
- Anmeldetag
- 30. November 2000
- Veröffentlichung
- 28. September 2005
- Erteilung
- 28. September 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Wafermasters Incorporated
TOKYO ELECTRON LIMITED - Land
- 🇺🇸 USA
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Freeman, Jacqueline Carol
London, Großbritannien
1.647
Patente gesamt
31
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte