Plasmabehandlung zur Entfernung von Polymeren nach dem Ätzen eines Kontaktloches
EP1145297
Art B1
9. April 2008
Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1145297
- Aktenzeichen
- EP00961980
- Anmeldetag
- 21. September 2000
- Veröffentlichung
- 9. April 2008
- Erteilung
- 9. April 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Micro Devices
US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.
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Fachgebiete
Vertreten von
Picker, Madeline Margaret
London, Großbritannien
951
Patente gesamt
26
Fachgebiete
12
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Schwerpunkte