Lichtempfindliche Harzzusammensetzung und Verfahren zur Verbesserung des Trockenätzwiderstands Dieser Harzzusammensetzung
EP1146394
Art A1
17. Oktober 2001
Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant Finance (BVI) Limited, CLARIANT INTERNATIONAL LTD. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1146394
- Aktenzeichen
- EP00937264
- Anmeldetag
- 16. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 17. Oktober 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/022C08L101/00H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant Finance (BVI) Limited
CLARIANT INTERNATIONAL LTD. - Land
- 🇺🇸 USA
🇨🇭
Clariant
Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.
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Vertreten von
Isenbruck, Günter
Mannheim, Deutschland
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Hütter, Klaus, Dr
NoneSulzbach