Zwischenverbindungen zu Kupfer in integrierten Schaltungen

EP1146552 Art B1 5. Oktober 2011

Anmelder: Agere Systems Guardian Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1146552
Aktenzeichen
EP01303322
Anmeldetag
9. April 2001
Veröffentlichung
5. Oktober 2011
Erteilung
5. Oktober 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/60H01L23/532H01L23/485
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Agere Systems Guardian Corporation
Land
🇺🇸 USA
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