Herstellungsverfahren von Dünnschichten, Gerät zur Herstellung von Dünnschichten und Sonnenzelle

EP1146569 Art B1 21. Mai 2008

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, IHI Corporation, Matsuda, Akihisa, Kondo, Michio, Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd., ANELVA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1146569
Aktenzeichen: EP01108979
Anmeldetag: 11. April 2001
Veröffentlichung: 21. Mai 2008
Erteilung: 21. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/20C23C16/509C23C16/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
IHI Corporation
Matsuda, Akihisa
Kondo, Michio
Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd.
ANELVA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

147 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 IHI Corporation

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Schwermaschinenbau, Luft- und Raumfahrttriebwerke sowie Anlagenbau.

1.709 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von