Durchflussregler
EP1146967
Art A1
24. Oktober 2001
Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1146967
- Aktenzeichen
- EP00909945
- Anmeldetag
- 20. Januar 2000
- Veröffentlichung
- 24. Oktober 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D16/20B05C11/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Greenwood, John David
Sevenoaks, Großbritannien
858
Patente gesamt
32
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte