Esterverbindungen, Polymere, Photoresistcompositionen und Mustererzeugungsverfahren

EP1148045 Art B1 10. September 2003

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1148045
Aktenzeichen
EP01303555
Anmeldetag
19. April 2001
Veröffentlichung
10. September 2003
Erteilung
10. September 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C07C69/753G03F7/039C08F20/16C07C69/013
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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