Verfahren zur Herstellung von Mehrschichtensysteme

EP1148149 Art B1 28. Juni 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1148149
Aktenzeichen: EP01109003
Anmeldetag: 11. April 2001
Veröffentlichung: 28. Juni 2006
Erteilung: 28. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/54C23C14/58G02B1/10G01B11/06G21K1/06H01J1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Carl Zeiss

Carl Zeiss ist ein deutscher Hersteller von optischen und optoelektronischen Systemen mit Sitz in Oberkochen. Das Patentportfolio konzentriert sich klar auf Optik und Fototechnik sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Medizintechnik und Software für bildgebende Anwendungen. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

486 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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