Verfahren zur Herstellung von Mehrschichtensysteme

EP1148149 Art B1 28. Juni 2006

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1148149
Aktenzeichen: EP01109003
Anmeldetag: 11. April 2001
Veröffentlichung: 28. Juni 2006
Erteilung: 28. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/54C23C14/58G02B1/10G01B11/06G21K1/06H01J1/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von