Markenunabhängiger Ausrichtungssensor
EP1148390
Art B1
25. März 2009
Anmelder: ASML Holding N.V., SVG LITHOGRAPHY SYSTEMS, INC. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1148390
- Aktenzeichen
- EP01109039
- Anmeldetag
- 11. April 2001
- Veröffentlichung
- 25. März 2009
- Erteilung
- 25. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00G01B9/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Holding N.V.
SVG LITHOGRAPHY SYSTEMS, INC. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Van den Hooven, Jan
Veldhoven, Niederlande
677
Patente gesamt
18
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät
Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München