Esterverbindungen, Polymere, Photoresistkompositionen und Mustererzeugungsverfahren

EP1149825 Art B1 7. März 2007

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1149825
Aktenzeichen
EP01303867
Anmeldetag
27. April 2001
Veröffentlichung
7. März 2007
Erteilung
7. März 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039C08F20/16C07C67/14C07C67/31C07C69/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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