Belichtungsverfahren und Belichtungsvorrichtung zur Verwendung von Nahfeldlicht und Photomaske
EP1150162
Art B1
29. Dezember 2010
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1150162
- Aktenzeichen
- EP01105130
- Anmeldetag
- 2. März 2001
- Veröffentlichung
- 29. Dezember 2010
- Erteilung
- 29. Dezember 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Weser, Wolfgang
München, Deutschland
869
Patente gesamt
26
Fachgebiete
2
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Schwerpunkte