Laservorrichtungsverwaltungssystem

EP1150401 Art B1 3. November 2010

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1150401
Aktenzeichen
EP01109716
Anmeldetag
20. April 2001
Veröffentlichung
3. November 2010
Erteilung
3. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/00H01S5/00A61B18/20B23K26/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
GIGAPHOTON INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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