Methode und Vorrichtung zur Schwingungskontrolle
EP1151211
Art B8
7. Juni 2006
Anmelder: Cymer, Inc., ACTIVE CONTROL EXPERTS INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1151211
- Aktenzeichen
- EP00905822
- Anmeldetag
- 28. Januar 2000
- Veröffentlichung
- 7. Juni 2006
- Erteilung
- 7. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16F15/00G05D19/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Cymer, Inc.
ACTIVE CONTROL EXPERTS INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cymer
Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.
399 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Greenwood, John David
Sevenoaks, Großbritannien
858
Patente gesamt
32
Fachgebiete
15
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Schwerpunkte