Optische Vorrichtung mit Dünnen Vielschichtsystem und deren Verwendung zur Ausrichtung

EP1152263 Art A1 7. November 2001

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1152263
Aktenzeichen: EP00963020
Anmeldetag: 2. Oktober 2000
Veröffentlichung: 7. November 2001
Rechtsraum: EP
IPC: G02B1/10G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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