Silizium Epitaxiescheibe und Ihre Herstellung
EP1152458
Art A1
7. November 2001
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1152458
- Aktenzeichen
- EP00974817
- Anmeldetag
- 8. November 2000
- Veröffentlichung
- 7. November 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/265H01L21/324H01L21/74H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Merkle, Gebhard
München, Deutschland
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