Mikromechanischer Dünnschicht-Wasserstoffgassensor, und Verfahren zur Herstellung und Verwendung Desselben

EP1153291 Art B1 14. Dezember 2011

Anmelder: MST Technology GmbH, ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1153291
Aktenzeichen
EP00923060
Anmeldetag
12. Januar 2000
Veröffentlichung
14. Dezember 2011
Erteilung
14. Dezember 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G01N33/00G01N27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MST Technology GmbH
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇩🇪 Deutschland
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