Vorrichtung mit Widerstandheizelementen für Wärmebehandlung von Einzelnen Halbleiterscheiben
EP1153420
Art A1
14. November 2001
Anmelder: Wafermasters Incorporated, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1153420
- Aktenzeichen
- EP00982296
- Anmeldetag
- 29. November 2000
- Veröffentlichung
- 14. November 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Wafermasters Incorporated
TOKYO ELECTRON LIMITED - Land
- 🇺🇸 USA
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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WP Thompson
Bereits 1873 gegründet, eine der traditionsreichsten britischen Patent- und Markenkanzleien mit Büros in London, Liverpool und Cardiff. Begleitet von der Anmeldung bis zur Verwertung, einschließlich Litigation vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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