Verfahren zur Herstellung von Silizium Epitaktischem Wafer

EP1154048 Art B1 16. März 2011

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1154048
Aktenzeichen
EP00976394
Anmeldetag
21. November 2000
Veröffentlichung
16. März 2011
Erteilung
16. März 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C30B33/00C30B33/02H01L21/20H01L21/324
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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