Methode zur Abscheidung einer amorphen Kohlenstoffschicht
EP1154468
Art B1
1. April 2009
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1154468
- Aktenzeichen
- EP01102401
- Anmeldetag
- 2. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 1. April 2009
- Erteilung
- 1. April 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/314H01L21/308H01L21/311H01L21/768H01L21/027H01L21/3213// H01L21/28H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kirschner, Klaus Dieter
München, Deutschland
863
Patente gesamt
32
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte