Verfahren zur Herstellung einer Mehrschichtigen Struktur mit Kontrollierten Eigenspannungen

EP1155442 Art B1 17. Dezember 2008

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1155442
Aktenzeichen
EP00903763
Anmeldetag
9. Februar 2000
Veröffentlichung
17. Dezember 2008
Erteilung
17. Dezember 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L21/18H01L21/762B81B3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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