Fotomaske, Verfahren zu deren Herstellung, Projektionsausrichtungsgeraet sowie Belichtungsverfahren
EP1158361
Art A1
28. November 2001
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1158361
- Aktenzeichen
- EP00950045
- Anmeldetag
- 8. August 2000
- Veröffentlichung
- 28. November 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14G03F7/20H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Burke, Steven David
London, Großbritannien
453
Patente gesamt
25
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte