Drahtheizelement aus Kohlenstoff zum Versiegeln eines Heizgerät

EP1158569 Art B1 8. Oktober 2014

Anmelder: Covalent Materials Corporation, TOKYO ELECTRON LIMITED, Toshiba Ceramics Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1158569
Aktenzeichen: EP01112064
Anmeldetag: 25. Mai 2001
Veröffentlichung: 8. Oktober 2014
Erteilung: 8. Oktober 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Covalent Materials Corporation
TOKYO ELECTRON LIMITED
Toshiba Ceramics Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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