Formmessungsvorrichtung für eine Halbleiterplakette
EP1158571
Art A3
30. Oktober 2002
Anmelder: NIKON CORPORATION, Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc., Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1158571
- Aktenzeichen
- EP01304623
- Anmeldetag
- 24. Mai 2001
- Veröffentlichung
- 30. Oktober 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00G01B11/24G01B11/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Read, Matthew Charles
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