Wässrige Dispersionsaufschlämmung für chemisch-mechanisches Polierverfahren

EP1160300 Art A3 26. November 2003

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1160300
Aktenzeichen
EP01112145
Anmeldetag
17. Mai 2001
Veröffentlichung
26. November 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02H01L21/3105C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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