Abgedeckte Verdampfungsquellenanordnung mit mehreren Taschen

EP1160351 Art B1 24. September 2008

Anmelder: Edwards Vacuum, Inc., BOC Edwards, Inc., THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1160351
Aktenzeichen
EP01304805
Anmeldetag
31. Mai 2001
Veröffentlichung
24. September 2008
Erteilung
24. September 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/30C23C14/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Edwards Vacuum, Inc.
BOC Edwards, Inc.
THE BOC GROUP, INC.
Land
🇺🇸 USA

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