Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung einer halbleitenden Schicht

EP1160354 Art A1 5. Dezember 2001

Anmelder: Panasonic Corporation, MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1160354
Aktenzeichen: EP01113208
Anmeldetag: 30. Mai 2001
Veröffentlichung: 5. Dezember 2001
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44C30B25/08C30B29/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Panasonic Corporation
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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