Vorrichtung zur präzisen Positionierung eines Bauteiles, insbesondere eines optischen Bauteiles

EP1160609 Art B1 8. Juni 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1160609
Aktenzeichen
EP01109997
Anmeldetag
25. April 2001
Veröffentlichung
8. Juni 2005
Erteilung
8. Juni 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/02G02B7/18G02B7/182G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Carl Zeiss Stiftung Trading as Carl Zeiss
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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